AIX G5+C和G10-AsP MOCVD系统现在可在200mm晶圆上用于Micro LED应用
Aixtron宣布，Ams Osram已为Aixtron AIX G5+C和G10-AsP MOCVD系统在200mm晶圆上的Micro-LED应用进行了鉴定。
MOCVD系统AIX G5+C和Aixtron SE的新G10-AsP提供了Aixtron行星技术，据说这将为下一代高分辨率Micro LED显示器铺平道路。
2022年春季，Ams Osram宣布计划在马来西亚现有工厂增加200mm的生产能力，用于生产LED和Micro LED。MOCVD系统有望帮助实现用于新一代显示应用的Micro LED的批量生产。
“Aixtron和Ams Osram有着长期的合作关系，我们熟悉设备的性能和质量标准。对于一个雄心勃勃的项目，如AsP和GaN器件的Micro LED的开发和生产，我们需要一个这样的合作伙伴”，Ams Osram光电半导体执行副总裁兼业务部门负责人Robert Feurle说道。
Aixtron SE首席执行官兼总裁Felix Grawert表示：“Ams Osram的G10-AsP和AIX G5+C认证是我们公司历史上一个非常重要的里程碑。Ams Osram是一家世界级的LED制造商，其定位完美，能够实现即将上市的基础新技术。我们正处于从传统显示技术向新型Micro LED显示器的技术转变的边缘。现在，Aixtron正在进入一个具有巨大潜力的未来增长市场，我们正在与我们身边的完美合作伙伴一起实现这一目标。”
Micro LED的生产具有特殊要求，包括一个特殊的转移过程，在该过程中，数千个LED芯片（阵列）被拾取并转移。任何缺陷都会导致像素死亡，从而使整个阵列变得无用。因此，几乎无误差的外延工艺是必要的，可以将缺陷最小化，并允许高产量和经济可行的Micro LED生产。
Aixtron的新型G10-AsP外延工具旨在满足这一应用的特定需求：它是一种全自动AsP反应器，提供盒对盒晶圆加载以及基于原位蚀刻的清洁机制。该公司表示，这两个特征加在一起对良率表现有重大影响。
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